序号

   故障原因

   产生原因

  原因以及排除方法

 1

蚀刻深度不够

蚀刻温度太低

加温蚀刻液

蚀刻时间太短

适当延长蚀刻时间

蚀刻溶液老化，浓度低

增加新的蚀刻液

 2

防蚀层脱落

蚀刻液温度太高

降低蚀刻液温度

防蚀层制作不良

加强蚀刻制作管理

油墨存放时间过长，失效

更换新油墨

二次曝光时间太短

延长二次曝光时间

显影后烘烤温度太低或时间太短

提高烘烤温度或延长时间

预处理不良

加强质量管理

 3

防蚀层边缘变脆起层

二次曝光时间太长

适当缩短二次曝光时间

 4

蚀刻表面有印迹

酸洗溶液氟化物含量不够

添加氟化物

酸洗时间太短

延长酸洗时间

蚀刻溶液失调

分析蚀刻溶液

材料质量原因

更换材料

 5

    平滑度差

杂质含量太高

更换溶液

三氯化铁质量差

选择质量好的三氯化铁

活化不良

加强活化过程

添加剂含量不足

定期补加添加剂

氯离子浓度太高

添加硝酸或硝酸氨

磷酸离子浓度低

添加磷酸

材料晶粒粗大

更换材料